国家知识产权局信息显示●◆,和舰芯片制造(苏州)股份有限公司申请一项名为“一种集成薄膜电阻及其制备方法”的专利▼,公开号CN121419554A,申请日期为2024年7月。
专利摘要显示,本发明公开了一种集成薄膜电阻及其制备方法◆■●,制备方法包括以下步骤☆▷■:S1、对前层工艺中的金属间电介质平坦化后形成氧化层;S2▪☆▲、在氧化层上方进行第一次SiON沉积后形成隔绝层▼;S3、在隔绝层上方依次进行铬硅和TiN沉积,分别形成铬硅层和窗口层后回火;S4、在窗口层上方进行第二次SiON沉积□■●;S5☆▲○、对铬硅薄膜电阻进行宽定义、长定义、集成电路接触孔定义和集成电路引线定义,得到铬硅薄膜电阻□◁。本发明在现有制作方法的基础上对薄膜电阻进行改善▼•,通过该反应制程生成的集成薄膜电阻可以精确控制电阻值,并且相较于扩散电阻和注入电阻具有更低温度系数=◁•。
天眼查资料显示,和舰芯片制造(苏州)股份有限公司,成立于2001年,位于苏州市,是一家以从事计算机○-…、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本314524□▷◁.57万人民币。通过天眼查大数据分析,和舰芯片制造(苏州)股份有限公司共对外投资了1家企业◇,参与招投标项目20次,财产线条,此外企业还拥有行政许可29个。
声明◇□:市场有风险,投资需谨慎☆▼○。本文为AI基于第三方数据生成○▲,仅供参考▷•,不构成个人投资建议■◇◁。
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